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東京都大田区 基板の修理、半導体製品修理、ETO修理、DC・RF電源修理、電源関係修理全般
株式会社グローバルジャパン
修理実績
修理＆O/Hサービス
ETO修理実績表
修理＆O/Hサービス
（品名・OEM P/N）
ETO Assy O/H
80-S09-UW
SSD Board
ABX-X279
ABX-X490
ABX-X490
SC Board
ABX-X355
Watt Meter Board
ABX-X280
HV CAP BANK Board
ABX-X284
HV Filter Board
ABX-X285
HV DIODE BOARD
ABX-X302
PS INTERFACE BOARD
ABX-X272
Heat Exchanger
MX-05
PLX-X090
PLX-X090
Microwave Control Module
ARX-X491
D13449
D13449
MAGNETRON HEAD
D13449
RF Gen循環ポンプ
HF1D009N
DIキャニスター
PLX-X125-SP
S12-C1049
S12-C1049
パーツ販売
パーツ販売
（品名・OEM P/N）
PA Tube
YU-191B
PA Tube
YU-191C
HV CAP BANK Board 新品
ABX-X284
各種コンデンサ
Cb・C1・C2・C3・C4
RF電源修理実績表
RF電源修理実績表
（メーカー・品名・OEM P/N）
ADTEC AX-1000
AX-1000
ADTEC AX-1000AMⅡ
AX-1000AMⅡ
ADTEC AX-1000Ⅲ
AX-1000Ⅲ
ADTEC AX-1000LF Ⅲ
AX-1000LF Ⅲ
AE APEX3013
3156114-001
AE PDX-1400
27-028379-00
3156024-141A
3156024-141A
AE PDX-2500
27-047499-00
3156012-101
3156012-101
AE RFPP LF-10A
3150010-001
AE RFDS RFG-1250
3155059-026
AE RFG2000-2V
3155053-007
AE RFG3000
3155038-005
AE HFV8000
3155083-002
AE PDX900-2V
3156024-110
AE PDX-5000
3156043-204
AE PE II 10K
3157600-003
AE LF-10
7520426011
COMDEL RF GENERATOR
CLF-5000
COMDEL RF GENERATOR
CLX-2500
COMDEL RF GENERATOR
CPS1001S
ENI SPECTRUM
11002-00
ENI DPG-10
DPG-8-10-CE
ENI DPGD-10
DPGD-10-04
ENI GEW-30A
GEW3040MA-F2H00-01
ENI GHW-50A
GHW50A-13DF3H0-003
ENI GMW-25
GMW25A-2D0F3N0-003
03電源修理実績表
O3電源修理実績表
（メーカー・品名・OEM P/N）
ASTEX O3 Generator
AX8200
ASTEX O3 Generator
AX8403
ASTEX O3 Generator
AX8407
ASTEX O3 Generator
AX8560
IN USA O3 FLOW SENSOR
GFFOZ
DC電源修理実績表
（メーカー・品名・OEM P/N）
AE MDX2 15
3152256-202
AE MDX-L12M
3152272-000
3152272-001
3152272-001
AE MDX-L12-650
3152313-002
3152344-101
3152344-101
AE MDX-L6
3152317-000
3152343-000
3152343-000
AE MDX-L HALO
3152343-101
AE MDX-L18M
3152345-100
AE Pinacle-12KW
3152415-531
AE Pinnacle20K
3152420-101
AE Pinnacle 10K
3152422-118
AE Pinnacle 6K
3152428-100
AE Pinnacle PLUS 5K
3152435-100
AMAT DC PWR SUPPLY
0010-09181
AMAT ENDURAⅡ ESC電源
ESC1.5PN7.5X3286(0190-14140)
EMI EMS POWER SUPLLY
EMS 150-7-2-D
EMI EMS POWER SUPLLY
EMS 7.5-250-5D-GB100
EMIC・LAMBDA DC電源 ユニット
CC15K50V（EWS-T-SERIES）
EMS EMS POWER SUPLLY
004731223
EMS EMS600-1,6-2D
004731373
KYOSAN DC Generator
15Z-S1
KYOSAN DC POWER SUPPLY
HPK15ZI-M
HPK1R5-15
HPK1R5-15
LAMBDA EMI フィラメント電源
EMS10-60-2-D-0754
EMS10-60-2-D-0806
EMS10-60-2-D-0806
LAMBDA EMI カソード電源
EMS600-1.6-2-D
LAMBDA EMI EMS POWER SUPPLY
EMS150-7-2-D
LAMBDA EMI アーク電源
EMS100-10-2D-1230
NEMIL・LAMBDA AMU電源
EWS3000T-48
DC電源修理実績表
ボード修理実績表
（品名・OEM P/N）
SBC V452
0090-76133
0090-03467
0090-03467
SBC V440
0090-76109
SBC V21
0090-76111
0190-09379
0190-09379
AMAT PⅢ BOARD
0190-11525
0190-30537
0190-11529
0190-30537
0190-11529
AMAT P133 CPU BOARD
61-0532-40
61-0532-34
0660-01857
61-0532-34
0660-01857
SEI Board
0100-01996
0100-00398
0100-20001
0100-00398
0100-20001
VGA video controller board
0190-75084
0190-70102
0190-76050
0100-00793
0190-70102
0190-76050
0100-00793
ANALOG I/O Board
0100-20100
0100-00825
0100-00825
Analog Input Board
0100-09054
Analog Output Board
0100-11001
Digital I/O Board
0100-20003
0100-76124
0100-01321
0100-11002
0100-76124
0100-01321
0100-11002
OTF Centerfinder Board
0100-76042
OMS Board
0190-01227
0190-76005
0190-76005
THERMALOGIC Board
0660-00221
RA541D-18C3
RA541D-18C3
THERMALOGIC Board Exchange
RA541D-04
RA541D-11C2
RA541D-11C2
Stepper Controller Board
0100-20173
0100-00979
0100-00975
0100-00003
0100-00979
0100-00975
0100-00003
Wafer Orienter Board
0100-20069
0100-76259
0090-76058
0100-76259
0090-76058
Seriplex MUXADIO-001
0190-35650
0190-35651
0190-35652
0090-00475
0190-35774
0190-35773
0190-35791
0190-35789
0190-35790
0190-35776
0190-35765
0660-00221
0100-18051
0100-18039
0190-35653
0190-35763
0190-35762
0190-35765
0190-35651
0190-35652
0090-00475
0190-35774
0190-35773
0190-35791
0190-35789
0190-35790
0190-35776
0190-35765
0660-00221
0100-18051
0100-18039
0190-35653
0190-35763
0190-35762
0190-35765
Seriplex SPX-MUXADIO-001
0190-35653
0190-35763
0190-35762
0190-35765
0190-35763
0190-35762
0190-35765
I/O Expansion Board
0900-00223
controller BD H2O VDSII
0100-09204
TC Filter Board
0100-18039
ANALOG DETECT BOARD
0100-20066
CHAMBER INTERCONNECT
0100-20004
CCD BOARD
0100-01130
PENTA Convectron Board
009874-104
PXIS MOTOR CONTROLLER BD
14209604
GENERAL IO BD
1420501
POWER DISTRIBUTION DEVICE
1419520
QUADRUPOLE PWR SUP DEVICE INTERFACE BD
1419460
PCB ASSY DIGITAL I/O BOARD
E15002450
E15002451
E15002451
DeviceNet Digital I/O Board
E15002451
CDN391 BOARD
0190-24115
ボード修理実績表
RPS修理実績表
RPS修理実績表
（品名・P/N）
MKS ASTRON 2L
AX7650
AX7651
AX7657
AX7658
AX7675
AX7851
FI20120
FI20620
FI20201
AX7651
AX7657
AX7658
AX7675
AX7851
FI20120
FI20620
FI20201
MKS ASTRON i 3L
AX7670
AE 3L
3151801-004
3151801-004A
3151801-003B
3151801-004A
3151801-003B
MKS ASTRON ex 6L
AX7685
FI80131
FI80133
FI80131
FI80133
MKS ASTRON hf 15L
AX7640
AX7645RH
AX7645PS
AX7645RH
AX7645PS
MKS ASTRON hf+ 22L
AX7635
モーター・ドライバー修理実績表
モーター・ドライバー修理実績表
（品名・OEM P/N）
メガトルクモーター・ドライバー
RS0810FN544
EP0810AF8-05
EP0810AF8-05
5-PHASE DRIVER
UDX5114N
UDX5107X
UDX5107X
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